渦輪分子泵的操作注意事項及應用

　　渦輪分子泵是靠高速轉動的轉子攜帶氣體分子運動從而獲得超高真空的一種機械式真空泵，是由動葉輪與靜葉輪組合而成，比擴散泵節(jié)能、無油蒸汽污染，同時具有分子流時抽速大、壓縮比高的特點，是目前國內(nèi)大抽速的分子泵，動葉輪采用變截面加工，其強度增加重量減少，使分子泵性能更可靠、穩(wěn)定。

　　渦輪分子泵的操作注意事項

　　♦不能在前級泵工作時(前級管路接通)和真空室處于真空狀態(tài)時將渦輪分子泵停掉，否則將會使油蒸氣迅速從前級管路返流到泵的清潔端。

　　♦分子泵系統(tǒng)在停機充干燥氣體前，一定要先將分子泵冷卻水關閉，且要從泵的高真空端充氣。決不能從泵的前級管路進行充氣。

　　♦選擇系統(tǒng)前級泵的大小時，應使渦輪分子泵的前級保持在分子流狀態(tài)下。

　　♦不能讓渦輪分子泵在低于額定工作轉速下運行。

　　♦分子泵入口應裝設防護網(wǎng)，以避免異物進入泵內(nèi)損壞泵轉子和定子葉片。

　　渦輪分子泵的應用領域，包括但不限于：

　　♦分析(質(zhì)譜分析儀，電子顯微鏡等)。

　　♦半導體工業(yè)(電子零部件，集成電路，太陽能電池等)。

　　♦光學/玻璃工業(yè)(防熱，防反射，反射，光學過濾涂層等。

　　♦涂層技術(表面防護,裝飾性涂層,顯示器,屏幕等)。

　　♦真空冶煉(真空焊,真空燒結,真空合金,真空爐等)。